超纯水处理方案有很多种，常见的有多重过滤、离子交换、除气、逆渗透、紫外线、超滤、纳米率、离子吸附过滤等。其中，超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。

      一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，纳米率，离子吸附过滤所产生的超纯水。

      超纯水处理方案有很多种，其中包括：深层过滤、筛网过滤、表面过滤、EDI(电去离子)等。

      深层过滤是以编织纤维或压缩材料制成的基质，利用隋性吸附或是捕捉方式来留住颗粒，如常用的多介质过滤或砂滤；深层过滤是一种较为经济的方式，可去除98%以上的悬浮固体，同时保护下游的纯化单元不会被堵塞，因此通常做为预处理。

      表面过滤则是多层结构，当溶液通过滤膜时，较滤膜内部孔隙大的颗粒将被留下来，并主要堆积在滤膜表面上，如常用的PP纤维过滤。

      EDI(电去离子)是应用有反渗透系统之后，取代混合离子交换床的成熟技术具有产水品质稳定，运行费用低，操作管理方便。

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